南京镭芯光电有限公司

总建筑面积6000㎡，其中百级、千级恒温超净实验室1000㎡，万级恒温净化实验室2000㎡。 百级、千级恒温超净实验室: 千级光刻区：恒温22℃±0.5℃；恒湿 40%RH±3%RH；百级 Ebeam Writer：22℃，hourly variation less than±0.1 ℃ (每小时变化< ±0.1℃), 恒湿45%RH±3%RH，微振及电磁波要求。万级恒温 22C±1℃；恒湿 50%RH±5%RH。本项目包括以下系统：环境建筑围护系统、净化恒温恒湿空调系统、自动化控制系统、供配电及UPS系统、弱电及集中监控系统、给排水及超纯水系统、消防系统、气体动力及特气系统、废气排放及环保处理系统。